Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau·München··TED
CMP (IMS-02) - PR886487-2380-P
Beschaffung von CMP (IMS-02).
Angebotsfrist:05. März 2026(abgelaufen)
Typ:Ausschreibung
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Mixed signal RF test system (IMS-08.1)
Beschaffung eines Mixed-Signal-HF-Testsystems (IMS-08.1). Das System dient zur Durchführung komplexer Hochfrequenz- und Mixed-Signal-Messungen. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme der Hardware sowie die Bereitstellung der erforderlichen Softwarekomponenten für den Testbetrieb.
Beschaffung eines spektroskopischen Ellipsometers zur Charakterisierung dielektrischer Schichten (SiO2, TiO2, Si3N4, AlN) für die QMI-Backend-Integration. Anforderungen: Wellenlängenbereich 300–1700 nm, spektrale Auflösung < 5 nm, vollautomatische 200-mm-Wafer-Bearbeitung (Kassette zu Kassette). Inklusive Offline-Software für Materialmodellierung und Datenextraktion als Mehrbenutzerlizenz. Ziel ist die Materialentwicklung für ein PVD-Sputter-Cluster am Fraunhofer IMS.
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