Beschaffung von zwei Systemkomponenten: Los 1 (IMS-06.1) umfasst eine XYZ-Phi-Stage für Wafer bis 12 Zoll. Los 2 (IMS-06.2) umfasst 6-Achsen-Hexapoden inklusive der zugehörigen Controller.
Angebotsfrist:05. März 2026(abgelaufen)
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Beschaffung von zwei Systemkomponenten: Los 1 (IMS-06.1) umfasst eine XYZ-Phi-Stage für Wafer bis 12 Zoll. Los 2 (IMS-06.2) umfasst 6-Achsen-Hexapoden inklusive der zugehörigen Controller.
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