Brandenburgische Technische Universität Cottbus-Senftenberg·
Pumpsystem ALD Reaktor
Pumpsystem ALD Reaktor
Angebotsfrist:06. März 2026(abgelaufen)
Typ:Ausschreibung
Ohne Kreditkarte · Sofortiger Zugang
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Pumpsystem ALD Reaktor
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Art der Leistung Beschreibung der zu beschaffenen Leistung: Pumpsystem ALD Reaktor Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt "Vergabeunterlagen". Umfang der Leistung nähere Angaben bitte aus der Leistungsbeschreibung entnehmen
ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1)
1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) Eine Anlage zum Aufbringen von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Details siehe Vergabeunterlagen. Optionale Positionen gemäß Technical Tender Specification (Phase 2 des Vergabeverfahrens)
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