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Die Angebotsfrist endet am 30. April 2026.

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Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.

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Inhalt auf einen Blick

Ausschreibungstyp: Ausschreibung
Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Veröffentlicht: 05. März 2026
Frist: 30. April 2026
Thema: Messtechnik

Ausschreibungsbeschreibung

1 Stück Single Wafer ALD for TiN Es wird eine Einzelwafer-Atomschichtabscheidungsanlage für TiN sowie für Al2O3 und SiO2 adressiert. Das System muss mit einer ferngesteuerten Plasmaquelle entweder für den TiN-Prozess oder für die Vorbehandlung der Oberfläche direkt vor der ALD ausgestattet sein. Dieses System ist für zwei wichtige Anwendungen in der Prozesslinie erforderlich. Eine Anwendung ist die Abscheidung einer TiN-Barriere innerhalb von TSV für die fortgeschrittene Integration von MEMS-Chi

Weiterführende Details

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Kernanforderungen der Ausschreibung priorisiert aufbereitet
Fristen, Eignungskriterien und Unterlagen in einem Ablauf
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Dokumente und Anhänge

49 Dateien erfasst

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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung

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Bis wann läuft die Angebotsfrist?: Die Angebotsfrist endet am 30. April 2026.
Wer ist der Auftraggeber?: Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
Welche Unterlagen sind für den Start relevant?: In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf auftrag.ai werden diese Punkte priorisiert dargestellt.

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Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) - PR896468-2480-P

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