Beschaffung eines vollautomatisierten Wafer-Reinigungssystems (Modell IZM-130). Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Geräts zur automatisierten Reinigung von Wafern.
Angebotsfrist:07. Januar 2026(abgelaufen)
Typ:Ausschreibung
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Beschaffung eines vollautomatisierten Wafer-Reinigungssystems (Modell IZM-130). Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Geräts zur automatisierten Reinigung von Wafern.
Beschaffung eines vollautomatisierten Wafer-Reinigungssystems (Modell IZM-130). Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Geräts zur automatisierten Reinigung von Wafern.
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
Beschaffung eines Single Chamber Cleaning Tools für die Halbleiterfertigung. Das System reinigt Photomasken, Wafer-Substrate (200/300 mm) und filmrahmenmontierte Wafer mittels Piranha/SC1-Chemie, Ultraschall oder Bürstenreinigung (Partikel >250 nm). Inkl. vertikalem Rotationsbürstensystem, programmierbarem Dosierarm, CO2-Injektion (5-15 µS), 0,003 µm Gasfilterung, Sicherheitsüberwachung und automatisierten Reinigungszyklen. Geeignet für aggressive Medien und hohe Substratverformungen (1500-2500 µm).
Beschaffung eines vollautomatischen IR-Laser-Debonders für BEoL-Layer-Transfer. Ziel ist das Debonding von Wafern (u.a. Silizium, <20 µm Dicke, anorganische RDL/BEoL-Schichten) von Silizium-Trägerwafern. Prozessschritte: Laden aus Filmrahmen-Kassetten, mechanische Ausrichtung, ID-Lesung, IR-Laser-Behandlung und Entladen. Das System muss parallele Prozesse (Laser-Debonding und Pre-Alignment) für hohen Durchsatz ermöglichen sowie eine flexible Software-Programmierung von Rezepten bieten.
Beschaffung eines Mixed-Signal-HF-Testsystems (IMS-08.1). Das System dient zur Durchführung komplexer Hochfrequenz- und Mixed-Signal-Messungen. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme der Hardware sowie die Bereitstellung der erforderlichen Softwarekomponenten für den Testbetrieb.
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