Fully automated 300mm sputter PVD cluster (IZM-141)
Angebotsfrist:05. März 2026(abgelaufen)
Typ:Ausschreibung
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Erhalten Sie alle Dokumente zu "Fully automated 300mm sputter PVD cluster (IZM-141) - PR1092430-3460-P" von Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau und behalten Sie Fristen und Einreichungshinweise im Blick.
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Fully automated 300mm sputter PVD cluster (IZM-141)
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Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
Beschaffung eines vollautomatisierten Wafer-Reinigungssystems (Modell IZM-130). Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Geräts zur automatisierten Reinigung von Wafern.
Beschaffung eines vollautomatischen IR-Laser-Debonders für BEoL-Layer-Transfer. Ziel ist das Debonding von Wafern (u.a. Silizium, <20 µm Dicke, anorganische RDL/BEoL-Schichten) von Silizium-Trägerwafern. Prozessschritte: Laden aus Filmrahmen-Kassetten, mechanische Ausrichtung, ID-Lesung, IR-Laser-Behandlung und Entladen. Das System muss parallele Prozesse (Laser-Debonding und Pre-Alignment) für hohen Durchsatz ermöglichen sowie eine flexible Software-Programmierung von Rezepten bieten.
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