Elektronenstrahllithographie- und Nanodraht-Charakterisierungs-System
Beschaffung eines Elektronenstrahllithographie- und Nanodraht-Charakterisierungs-Systems vom Typ eLINE Plus. Das System dient der hochpräzisen Nanostrukturierung und Analyse. Es umfasst die notwendige Hardware, Software sowie die Installation und Inbetriebnahme am Einsatzort.
Typ:Ausschreibung