W10-42385139 System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Beschaffung eines Systems zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung (ALD) für das PGI-7. Das System muss sowohl thermische als auch plasmaunterstützte Prozesse ermöglichen, um hochpräzise Schichtabscheidungen im Nanometerbereich zu gewährleisten. Die Ausschreibung umfasst die Lieferung, Installation ...
Typ:Ausschreibung