Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für einen neuen Reinraum. Ziel ist das Ätzen von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Siliziumsubstrate oder -schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken. Der Auftrag umfasst Lieferung, Inbetriebn...
Typ:Ausschreibung
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Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für einen neuen Reinraum. Ziel ist das Ätzen von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Siliziumsubstrate oder -schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken. Der Auftrag umfasst Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und...
Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für einen neuen Reinraum. Ziel ist das Ätzen von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Siliziumsubstrate oder -schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken. Der Auftrag umfasst Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung. Es können neue oder neuwertige, generalüberholte Systeme angeboten werden. Medien und Peripherie werden separat bereitgestellt.
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
Beschaffung einer DRIE-Anlage (Deep Reactive Ion Etching) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für einen neuen Reinraum. Ziel ist das Ätzen tiefer Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Siliziumsubstrate/-schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken. Der Auftrag umfasst Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung. Es können neue oder neuwertige, generalüberholte Systeme angeboten werden. Medien und Peripherie werden separat bereitgestellt.
Beschaffung eines Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si-Fluor-Chemie-Ätzgeräts für das IBC-Reinraumzentrum (HZDR, Dresden). Das Gerät ermöglicht Deep-Trench- (Bosch-Prozess) und Through-Via-Ätzungen in Si, SiC sowie 2D-Materialien (Graphen, MoS2). Anforderungen: ISO-Klasse-6-Betrieb, Probenladung in ISO 4/5, CE-Kennzeichnung, Dokumentation (DE/EN), Lieferung/Installation/SAT bis 01.06.2027, mind. 2 Jahre Garantie. Lieferung DPU Dresden, Montage im Reinraum (Gebäude 711/Raum 105).
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