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Beschaffung eines Wafer- und Maskenreinigungsgeräts für Reinraum ISO-Klasse 4. Das Gerät muss europäischen Sicherheitsvorschriften entsprechen und Wafer sowie Lithographie-Masken mittels RCA-Prozess (wässrige/saure Lösungen) reinigen. Anforderungen: Prozesskammer aus medienresistentem Material, Absaugung, Leckageerkennung. Ziel ist die...

Ausschreibungstyp: Ausschreibung
Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Veröffentlicht: 01. April 2026
Frist: 05. Mai 2026
Thema: Armaturen

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Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P

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