Beschaffung eines Inline-Röntgendiffraktometers für 300-mm-Halbleiter-Wafer (auch 200 mm) für Reinraumumgebungen. Funktionen: XRD, GIXRD, XRR, WAXRD (Textur/Spannung), HRXRD und RSM. Inkl. vollautomatischem Loadport und Subsystemen. Optionale Angebote: zweiter Loadport, In-Plane-Detektor, 1D-Detektor (jeweils mit Nachr...
Typ:Ausschreibung
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Beschaffung eines Inline-Röntgendiffraktometers für 300-mm-Halbleiter-Wafer (auch 200 mm) für Reinraumumgebungen. Funktionen: XRD, GIXRD, XRR, WAXRD (Textur/Spannung), HRXRD und RSM. Inkl. vollautomatischem Loadport und Subsystemen. Optionale Angebote: zweiter Loadport, In-Plane-Detektor, 1D-Detektor (jeweils mit Nachrüstbarkeit), Soft...
Beschaffung eines Inline-Röntgendiffraktometers für 300-mm-Halbleiter-Wafer (auch 200 mm) für Reinraumumgebungen. Funktionen: XRD, GIXRD, XRR, WAXRD (Textur/Spannung), HRXRD und RSM. Inkl. vollautomatischem Loadport und Subsystemen. Optionale Angebote: zweiter Loadport, In-Plane-Detektor, 1D-Detektor (jeweils mit Nachrüstbarkeit), Software zur Berechnung von Korngrößen/Mikrodehnungen sowie eine Garantieverlängerung um 12 Monate.
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
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