300mm XRD (IPMS-CNT07.2)
Beschaffung eines Röntgendiffraktometers (XRD) für 300mm-Halbleiter-Wafer und Fragmente. Einsatzgebiete: GI-XRD, XRR, Polfiguren/Texturmessungen, HRXRD und Stressanalysen für 300mm/200mm-Wafer inkl. Kühlsystem. Optionale Angebote erbeten für: 1. Mikrofokusquelle (< 1mm²), 2. In-Plane-Detektor, 3. Hardware/Software für ...
Typ:Ausschreibung
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Inhalt auf einen Blick
Beschaffung eines Röntgendiffraktometers (XRD) für 300mm-Halbleiter-Wafer und Fragmente. Einsatzgebiete: GI-XRD, XRR, Polfiguren/Texturmessungen, HRXRD und Stressanalysen für 300mm/200mm-Wafer inkl. Kühlsystem. Optionale Angebote erbeten für: 1. Mikrofokusquelle (< 1mm²), 2. In-Plane-Detektor, 3. Hardware/Software für Reciprocal Space ...
- Ausschreibungstyp: Ausschreibung
- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht: 04. Dezember 2025
- Frist: Nicht angegeben
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines Röntgendiffraktometers (XRD) für 300mm-Halbleiter-Wafer und Fragmente. Einsatzgebiete: GI-XRD, XRR, Polfiguren/Texturmessungen, HRXRD und Stressanalysen für 300mm/200mm-Wafer inkl. Kühlsystem. Optionale Angebote erbeten für: 1. Mikrofokusquelle (< 1mm²), 2. In-Plane-Detektor, 3. Hardware/Software für Reciprocal Space Maps (RSM) inkl. Exportfunktion, 4. Software für Korngrößen/Mikrodehnung. Bitte jeweils Nachrüstbarkeit angeben.
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