Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5)
Beschreibung: 1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Clustersystems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammer. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein.
Typ:Ausschreibung
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Inhalt auf einen Blick
Beschreibung: 1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Clustersystems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammer. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein.
- Ausschreibungstyp: Ausschreibung
- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht: 20. April 2026
- Frist: Nicht angegeben
- Thema: Verfahrenstechnik
Ausschreibungsbeschreibung
Beschreibung: 1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Clustersystems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammer. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein.
Weiterführende Details
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Dokumente und Anhänge
1 Datei erfasst- VERGABE_FRH_documents.zip
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Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
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- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
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