300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P
Beschaffung eines vollautomatisierten 300 mm BEOL Large-Field-Belichtungssystems (i-line) für 2.5D/3D-Chiplet-Integration. Ziel ist die Realisierung von BEOL-Verdrahtungen mit Auflösungen <800 nm bis 500 nm L/S und einer Overlay-Genauigkeit <100 nm. Das System bietet Vorder-/Rückseiten-Alignment, variable Schärfentiefe...
Typ:Ausschreibung
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Inhalt auf einen Blick
Beschaffung eines vollautomatisierten 300 mm BEOL Large-Field-Belichtungssystems (i-line) für 2.5D/3D-Chiplet-Integration. Ziel ist die Realisierung von BEOL-Verdrahtungen mit Auflösungen <800 nm bis 500 nm L/S und einer Overlay-Genauigkeit <100 nm. Das System bietet Vorder-/Rückseiten-Alignment, variable Schärfentiefe für dicke Resist...
- Ausschreibungstyp: Ausschreibung
- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht: 14. April 2026
- Frist: Nicht angegeben
- Thema: Messtechnik
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines vollautomatisierten 300 mm BEOL Large-Field-Belichtungssystems (i-line) für 2.5D/3D-Chiplet-Integration. Ziel ist die Realisierung von BEOL-Verdrahtungen mit Auflösungen <800 nm bis 500 nm L/S und einer Overlay-Genauigkeit <100 nm. Das System bietet Vorder-/Rückseiten-Alignment, variable Schärfentiefe für dicke Resists sowie Optionen für extreme Verformungsausgleiche (>1500-2500 µm), IR-basiertes Rückseiten-Alignment, Pre-Alignment-Korrektur und musterbasierte Erkennung.
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- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
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