zwei Sätze von acht Öfen zu erwerben, bestehend aus vier Rohren für chemische Niederdruck-Dampfabscheidungsverfahren (LPCVD) und vier atmosphärischen Rohren für die CMi

Ausschreibungsbeschreibung

EPFL sucht zwei Sätze à 8 Öfen (4 LPCVD, 4 atmosphärisch) für MicroNanotechnologie-Center. Bewertung nach Prozessleistung, Robustheit, Benutzerfreundlichkeit. Leistungskriterien: Einheitlichkeit, Wiederholbarkeit, Prozessdauer. Anforderungen: 1 Rohr für Poly-Si/aSi/N-Si/P-Si; 1 für Si3N4/lsnit; 1 für LTO-SiO2; 1 für TEOS-SiO2; 1 trockene thermische Si-Oxidation; 1 feucht/trockene thermische Si-Oxidation; 1 Hitzeglühen (1250°C, N2); 1 feucht/trockene thermische Si-Oxidation mit Formgas/N2-Glühen. Alle Materialien hoher Qualität, Dichte, geringe Verunreinigungen/H₂-Gehalt.