Beschaffung eines Single Wafer Clean (SWC) Tools für 300-mm-Wafer. Das System muss mindestens zwei hardwareseitig getrennte Protokollzonen simultan verarbeiten können. Unterstützte Medien: dHF, SC1, SC2, dHCl, O3DIW, SPM, Aqua regia, AOM, FOM, HOM. Optionale Positionen: Wärmerückgewinnung für heißes DIW-Abwasser, Aqua-...
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Beschaffung eines Single Wafer Clean (SWC) Tools für 300-mm-Wafer. Das System muss mindestens zwei hardwareseitig getrennte Protokollzonen simultan verarbeiten können. Unterstützte Medien: dHF, SC1, SC2, dHCl, O3DIW, SPM, Aqua regia, AOM, FOM, HOM. Optionale Positionen: Wärmerückgewinnung für heißes DIW-Abwasser, Aqua-regia-Verdünnungs...
Beschaffung eines Single Wafer Clean (SWC) Tools für 300-mm-Wafer. Das System muss mindestens zwei hardwareseitig getrennte Protokollzonen simultan verarbeiten können. Unterstützte Medien: dHF, SC1, SC2, dHCl, O3DIW, SPM, Aqua regia, AOM, FOM, HOM. Optionale Positionen: Wärmerückgewinnung für heißes DIW-Abwasser, Aqua-regia-Verdünnungseinheit, Online-Rezeptverwaltung (Hard-/Software), Quelleninspektion, Garantieverlängerung um ein Jahr sowie ein System zur Energieverbrauchsmessung.
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
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