Vapour-HF-Ätzsystem
Anschaffung eines Vapour-HF-Ätzsystems zur Freistellung höchstempfindlicher photonischer Kristalle an Siliziumfäden für optomechanische Systeme, u.A. für das Einstein Telescope (ET). Technische Parameter gemäß Anlage 2 sind einzuhalten.
Angebotsfrist:30. April 2026
Typ:Ausschreibung