Ein System zu Elektronenstrahllithografie (engl. Electron-Beam Lithography (EBL)) ist eine hochpräzise Technik zur Strukturierung von Materialien auf mikroskopischer Ebene.
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Ein System zu Elektronenstrahllithografie (engl. Electron-Beam Lithography (EBL)) ist eine hochpräzise Technik zur Strukturierung von Materialien auf mikroskopischer Ebene.
Ein System zu Elektronenstrahllithografie (engl. Electron-Beam Lithography (EBL)) ist eine hochpräzise Technik zur Strukturierung von Materialien auf mikroskopischer Ebene.
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