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Fraunhofer Gesellschaft e.V.·16. November 2025·TED

Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUVBestrahlung (LAB-MEMS)

Typ:Ausschreibung

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Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUVBestrahlung (LAB-MEMS)

Ausschreibungstyp: Ausschreibung
Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Veröffentlicht: 16. November 2025
Frist: Nicht angegeben

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