PVT-Reaktor (IISB.WP4.1) - PR1078011-2790-P
Beschaffung eines PVT-Reaktors zur Herstellung von Aluminiumnitrid-Kristallen. Das System muss einen wassergekühlten Doppelwand-Reaktor aus Quarzglas (Innenmindestdurchmesser 255 mm) mit Induktions-RF-Heizung für Graphit-Hotzone umfassen. Ein Bodenladesystem für Lasten bis mindestens 20 kg ist erforderlich. Betriebsbed...
Typ:Ausschreibung