Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus-Topografiemesssystem, Seriennummer 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handhabungssystem für Wafer in einer separat gekapselten Umgebung. Das System kann Wafer aus einem SEMI-300-mm-FOUP in das bestehende Me...
Angebotsfrist:09. März 2026(abgelaufen)
Typ:Ausschreibung
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Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus-Topografiemesssystem, Seriennummer 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handhabungssystem für Wafer in einer separat gekapselten Umgebung. Das System kann Wafer aus einem SEMI-300-mm-FOUP in das bestehende Messwerkzeug überfü...
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus-Topografiemesssystem, Seriennummer 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handhabungssystem für Wafer in einer separat gekapselten Umgebung. Das System kann Wafer aus einem SEMI-300-mm-FOUP in das bestehende Messwerkzeug überführen. Es ist zudem in der Lage, 200-mm-Wafer in einen geeigneten Adapter einzuführen, um sie auf Standard-300-mm-Werkzeugen zu verarbeiten, und diese 200-mm-Wafer im Adapter in einen SEMI-Standard-300-mm-FOUP zu handhaben.
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, SN 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer geschlossenen Umgebung. Das System ermöglicht den Transport von 300-mm-Wafern aus einem SEMI-FOUP zum Messgerät sowie die Zuführung von 200-mm-Wafern mittels Adapter, um diese auf 300-mm-Anlagen zu verarbeiten und in SEMI-konformen 300-mm-FOUPs zu handhaben.
Upgrade des Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, SN 700259) am Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handlingsystem für Wafer in einer geschlossenen Umgebung. Das System ermöglicht den Transport von 300-mm-Wafern aus einem SEMI-FOUP zum Messgerät sowie die Zuführung von 200-mm-Wafern mittels Adapter, um diese auf 300-mm-Anlagen zu verarbeiten und in SEMI-konformen 300-mm-FOUPs zu handhaben.
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