Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Beschaffung eines automatisierten PECVD-Systems (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) für den Kassettenbetrieb zur Abscheidung dielektrischer Dünnschichten (SiO₂, SiN, TEOS, SiON, a-Si) für Forschung und Pilotlinien im VTT Micronova Reinraum. Die Vergabe erfolgt als Direktvergabe an KLA/SPTS, da eine technische I...
Typ:Ausschreibung
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Inhalt auf einen Blick
Beschaffung eines automatisierten PECVD-Systems (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) für den Kassettenbetrieb zur Abscheidung dielektrischer Dünnschichten (SiO₂, SiN, TEOS, SiON, a-Si) für Forschung und Pilotlinien im VTT Micronova Reinraum. Die Vergabe erfolgt als Direktvergabe an KLA/SPTS, da eine technische Integration in ein...
- Ausschreibungstyp: Ausschreibung
- Auftraggeber: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Veröffentlicht: 11. Mai 2026
- Frist: Nicht angegeben
- Thema: Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines automatisierten PECVD-Systems (Plasma-enhanced chemical vapor deposition) für den Kassettenbetrieb zur Abscheidung dielektrischer Dünnschichten (SiO₂, SiN, TEOS, SiON, a-Si) für Forschung und Pilotlinien im VTT Micronova Reinraum. Die Vergabe erfolgt als Direktvergabe an KLA/SPTS, da eine technische Integration in ein bestehendes DRIE-System des Herstellers erforderlich ist, um die Lebensdauer der Ätzkammer zu verlängern und den Platzbedarf zu optimieren.
Weiterführende Details
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
- Kernanforderungen der Ausschreibung priorisiert aufbereitet
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Dokumente und Anhänge
49 Dateien erfasst- PDF Notice (BUL)
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- PDF Notice (DEU)
- PDF Notice (EST)
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- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY.
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