Mehrrohr-Thermoprozessofen (MTPF) für Oxidation und LPCVD im PSI PICO Reinraum
Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Be...
Angebotsfrist:19. Juli 2026
Typ:Ausschreibung
Ohne Kreditkarte · Sofortiger Zugang
Inhalt auf einen Blick
Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Betrieb, Verfügbark...
- Ausschreibungstyp: Ausschreibung
- Auftraggeber: Paul Scherrer Institut (PSI)
- Veröffentlicht: 24. April 2026
- Frist: 19. Juli 2026
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines Mehrrohr-Thermoprozessofens (MTPF) für Oxidation und LPCVD. Kapazität: 50 Wafer (200 mm) pro Durchlauf, Automatisierung für mind. 4 Chargen. Ausstattung: 4 Röhren (Oxidation, Si3N4, SiO2, poly-/amorphes Si). Installation als Wanddurchführung (Beladung Reinraum, Technik Grauraum). Auslegung für 24/7-Betrieb, Verfügbarkeit mind. 90 %, 2 Jahre Garantie.
Weiterführende Details
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
- Kernanforderungen der Ausschreibung priorisiert aufbereitet
- Fristen, Eignungskriterien und Unterlagen in einem Ablauf
- Hinweise zur strukturierten Angebotsvorbereitung
- Passende Folgeausschreibungen automatisch entdecken
Dokumente und Anhänge
Noch keine Datei gelistetÄhnliche Bekanntmachungen
Aktuell sind keine direkten Alternativen gelistet. Aktivieren Sie die Suche, um neue passende Bekanntmachungen automatisch zu erhalten.
Erweiterte Suche freischaltenHäufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
- Erstellen Sie ein kostenloses Konto auf auftrag.ai. Danach sehen Sie alle Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung in einem strukturierten Ablauf.
- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Die Angebotsfrist endet am 19. Juli 2026.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Paul Scherrer Institut (PSI).
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf auftrag.ai werden diese Punkte priorisiert dargestellt.