Maskaligner 200mm - PR971169-2790-W
Beschaffung eines Maskaligners zur beidseitigen Belichtung und zum Prebonden von Silicium- und Siliciumcarbidwafern mit UV-empfindlichen Fotolacken. Unterstützte Wafergrößen sind 100 mm, 150 mm und 200 mm. Das System muss zudem die Verarbeitung von Bruchstücken und kleineren Substraten ermöglichen.
Typ:Ausschreibung
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Inhalt auf einen Blick
Beschaffung eines Maskaligners zur beidseitigen Belichtung und zum Prebonden von Silicium- und Siliciumcarbidwafern mit UV-empfindlichen Fotolacken. Unterstützte Wafergrößen sind 100 mm, 150 mm und 200 mm. Das System muss zudem die Verarbeitung von Bruchstücken und kleineren Substraten ermöglichen.
- Ausschreibungstyp: Ausschreibung
- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht: 25. März 2026
- Frist: Nicht angegeben
- Thema: Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Beschaffung eines Maskaligners zur beidseitigen Belichtung und zum Prebonden von Silicium- und Siliciumcarbidwafern mit UV-empfindlichen Fotolacken. Unterstützte Wafergrößen sind 100 mm, 150 mm und 200 mm. Das System muss zudem die Verarbeitung von Bruchstücken und kleineren Substraten ermöglichen.
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Dokumente und Anhänge
49 Dateien erfasst- PDF Notice (BUL)
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- PDF Notice (DEU)
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- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
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