LIBS-Mikroskop 2026
Das Beschaffungsvorhaben beinhaltet die Lieferung, Installation und betriebsbereite Übergabe eines modular aufgebauten Digitalmikroskops mit integrierter LIBS-Analyse. Das System soll als zentrale Analyseplattform für Proben im Institut und für die Untersuchung laserbearbeiteter Proben eingesetzt werden. Es muss visuel...
Typ:Ausschreibung
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Inhalt auf einen Blick
Das Beschaffungsvorhaben beinhaltet die Lieferung, Installation und betriebsbereite Übergabe eines modular aufgebauten Digitalmikroskops mit integrierter LIBS-Analyse. Das System soll als zentrale Analyseplattform für Proben im Institut und für die Untersuchung laserbearbeiteter Proben eingesetzt werden. Es muss visuelle Inspektion, ho...
- Ausschreibungstyp: Ausschreibung
- Auftraggeber: Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH
- Veröffentlicht: 14. Mai 2026
- Frist: Nicht angegeben
- Thema: Laborinstrumente
Ausschreibungsbeschreibung
Das Beschaffungsvorhaben beinhaltet die Lieferung, Installation und betriebsbereite Übergabe eines modular aufgebauten Digitalmikroskops mit integrierter LIBS-Analyse. Das System soll als zentrale Analyseplattform für Proben im Institut und für die Untersuchung laserbearbeiteter Proben eingesetzt werden. Es muss visuelle Inspektion, hochauflösende mikroskopische Charakterisierung, dreidimensionale Oberflächenanalyse und quantitative Elementzusammensetzung ermöglichen. Das System muss großflächige Proben (bis 300 mm), ein weiter Vergrößerungsbereich und eine präparationsarme Elementanalyse unterstützen. Die laserbasierte Funktionalität soll auch zur Erzeugung definierter Markierungen auf Probenoberflächen dienen.
Weiterführende Details
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
- Kernanforderungen der Ausschreibung priorisiert aufbereitet
- Fristen, Eignungskriterien und Unterlagen in einem Ablauf
- Hinweise zur strukturierten Angebotsvorbereitung
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2- Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbHKaiserslautern
LIBS-Mikroskop 2026
Gegenstand des Beschaffungsvorhabens ist die Lieferung, Installation sowie betriebsbereite Übergabe eines modular aufgebauten Digitalmikroskops mit integrierter Möglichkeit zur laserbasierten Materialanalyse mittels Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS). Das System soll als zentrale Analyseplattform für die Eingangskontrolle von Proben im Institut sowie für die Untersuchung und Bewertung laserbearbeiteter Proben eingesetzt werden. Zur Sicherstellung einer sachgerechten und nachvollziehbaren Bewertung der Proben müssen visuelle Inspektion, hochauflösende mikroskopische Charakterisierung, dreidimensionale Oberflächenanalyse sowie eine quantitative Bestimmung der Elementzusammensetzung in einem integrierten Arbeitsablauf möglich sein. Insbesondere bei der Analyse laserbearbeiteter Proben ist es erforderlich, sowohl morphologische Veränderungen und Bearbeitungsspuren als auch materialbedingte Veränderungen zuverlässig und reproduzierbar zu erfassen. Aus den dargestellten Einsatzbedingungen ergibt sich die Notwendigkeit eines Systems mit hoher Flexibilität hinsichtlich Probenaufnahme, Vergrößerungsbereich und Analytik. Hierzu zählen insbesondere die Fähigkeit zur Untersuchung großflächiger Proben (einschließlich Wafern bis 300 mm), ein weiter Vergrößerungsbereich von der Übersichtsdarstellung bis zur hochauflösenden Detailanalyse, die Möglichkeit zur Untersuchung großvolumiger oder ortsfester Objekte mittels geeigneter optischer Komponenten sowie die Integration einer präparationsarmen bzw. präparationsfreien Elementanalyse direkt am Untersuchungsort. Ergänzend soll die laserbasierte Funktionalität des Systems nicht ausschließlich zur materialanalytischen Untersuchung eingesetzt werden, sondern auch zur Erzeugung definierter Markierungen auf Probenoberflächen dienen, um Messpositionen für nachgelagerte Untersuchungsverfahren eindeutig zu kennzeichnen und wiederzufinden. Hierbei kann der beim LIBS-Verfahren entstehende Materialabtrag gezielt genutzt werden. Alternativ kann die Markierung durch ein zusätzlich integriertes oder funktional gleichwertiges Lasersystem erfolgen. In beiden Fällen ist eine hochpräzise und reproduzierbare Positionierung im Bereich weniger Mikrometer erforderlich, um eine eindeutige Zuordnung zwischen optischer Charakterisierung, analytischen Messungen und weiteren Prüfverfahren sicherzustellen. Aus diesem Grund sind entsprechend genaue, motorisierte Positioniersysteme mit geeigneter Steuerungs- und Referenzfunktionalität erforderlich. Das System soll sowohl für Routineaufgaben der Probenannahme und Qualitätsbewertung als auch für wissenschaftliche Untersuchungen, Entwicklungsarbeiten und Kooperationsprojekte eingesetzt werden. Darüber hinaus dient es der Unterstützung von Forschungs- und Transferaktivitäten sowie der Qualifizierung von wissenschaftlichem Personal. Die geplante Beschaffung beinhaltet ein vollständiges Digitalmikroskop mit Materialanalysefunktion mittels LIBS inklusive aller für den Betrieb erforderlichen Komponenten, Steuerrechner, Software und Zubehörteile. Im Einzelnen soll das Mikroskop mindestens folgende Komponenten enthalten: - Stativlösung, die den Betrieb sämtlicher vorgesehenen Untersuchungs- und Analysefunktionen ohne erforderlichen Messkopfwechsel ermöglicht. Die Realisierung kann durch ein entsprechend ausgelegtes Einzelstativ oder durch eine Doppelstativkonfiguration erfolgen. Ziel ist es, einen unterbrechungsarmen Arbeitsablauf ohne zeitaufwändige Umrüstvorgänge sicherzustellen. - Motorisierte (X,Y,Z) mind. 100mm x 100mm Stage mit Durchlicht-Option - Motorisierte (X,Y,Z) mind. 300mm x 300mm Stage (Notwendig für Charakterisierung und Markierung von 300mm Wafern) - 4-fach Objektiv-Revolver mit 5 wechselbaren Objektiven für Vergrößerungen 5x (Macro) -6000x - Polarisations- und Interferenzkontrast-Optionen für die Objektive des Revolvers - Materialanalyse zur Bestimmung der quantitativen Elementzusammensetzung mittels LIBS - Mobile Kamera Option mit einer Vergrößerung von mindestens 20x-1000x (auch mit zwei Objektiven) - Schwenkoptionen der Stative (mind. 90° mit Revolver, mind. 60° mit LIBS) - Abstandserweiterungen der Stative für höhere Proben Geometrien - Steuer-PC mit Mess- und Auswertesoftware Software incl. Bedieneinheit - Auswerte Software auch für Offline-PCs
- Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbHKaiserslauternFrist: 12. Juni
ToF-SIMS 2026
Das System wird als zentrale Analyseplattform für hochaufgelöste chemische Oberflächencharakterisierung, bildgebende Analytik (2D-Imaging) sowie Tiefenprofilierung und 3D-Rekonstruktion eingesetzt. Es dient wissenschaftlichen und anwendungsnahen Fragestellungen in der industriellen und universitären Forschung sowie der Auftragsforschung und wird in Kooperationsprojekten mit Industriepartnern und Forschungseinrichtungen genutzt. Im Institut werden Proben mit stark variierenden Eigenschaften untersucht. Diese unterscheiden sich insbesondere hinsichtlich Materialklassen (z. B. Metalle und Legierungen, Halbleiter, Gläser, Keramiken, Polymere), Geometrie, Oberflächenzustand, Kontaminations- und Schichtsystemen sowie analytischer Fragestellungen. Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Analyse von Oberflächen und Schichtsystemen, inklusive der Identifikation komplexer Spezies und der quantitativen/vergleichenden Bewertung von Signalen über Messreihen hinweg. Zur Sicherstellung reproduzierbarer und nachvollziehbarer Ergebnisse muss das System einen stabilen UHV-Betrieb, eine hohe Massenauflösung/Massengenauigkeit, eine hohe laterale Auflösung für bildgebende Verfahren sowie einen kontrollierten Materialabtragung für Tiefenprofile bereitstellen. Darüber hinaus ist eine strukturierte Erfassung und Exportfähigkeit von Messdaten und Metadaten in gängige, nicht-proprietäre Formate erforderlich, um Anforderungen an Nachvollziehbarkeit, Langzeitverfügbarkeit und Forschungsdatenmanagement (FAIR-Prinzipien) zu erfüllen. Das System muss mindestens folgende Komponenten/Funktionen umfassen (funktionsorientiert; Umsetzung herstellerunabhängig zulässig, sofern Anforderungen erfüllt sind): - UHV-Analysekammer (Rezipient) für optimierte Vakuumbedingungen incl. Probenschleuse, geeigneter Probenhandhabung und Beobachtungsmöglichkeit in Analyseposition (Kamera/Optik oder funktional gleichwertig). - ToF-Massenspektrometer einschließlich MS/MS-Funktionalität (Tandem-MS) oder funktional gleichwertiger Lösung zur verbesserten Identifikation/Strukturaufklärung. - Analyse-Ionenquelle (z. B. Bi-LMIG-basiert oder funktional gleichwertig) zur hochauflösenden, bildgebenden SIMS-Analyse. - Sputter-Ionenquelle(n) für kontrollierten Materialabtrag/Tiefenprofilierung (z.B. Cs und O2/Ar Ionenkanone oder funktional gleichwertig) mit stabiler Stromabgabe über lange Messzeiten. - Cluster-Ionenquelle (z. B. Ar-Cluster, ggf. O2-Cluster oder funktional gleichwertig), inkl. Option zur Analyse/Imaging-Nutzung, soweit gefordert. - FIB-Funktion zum Schneiden und zur Tomografie in der Analyseposition mittels zusätzlicher LMIG- Quelle - Ladungskompensation (Electron Flood Gun oder funktional gleichwertig). - Probenhalter-Grundausstattung inkl. Montagematerial sowie definierte Möglichkeiten zur Aufnahme großer Proben (insb. Wafer bis 300 mm). - Gasinstallationen/Versorgung für die im System integrierten Quellen (Arbeitsgase) inkl. erforderlicher sicherheitstechnischer Komponenten. - Steuer- und Auswertesoftware inkl. Lizenzen; Offline-Auswertung auf separaten Rechnern muss möglich sein. - Steuerrechner (Windows 11 Pro, LAN-Anbindung, Remote-Nutzung oder gleichwertige), kompatible Bereitstellung gemäß IT-Anforderungen.
Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
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- Der Auftraggeber ist Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH.
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