Beschaffung eines röntgenbasierten Kristallorientierungstools (1 Stück) zur präzisen Ausrichtung von AlN- oder GaN-Volumenkristallen vor dem Mehrdrahtsägen. Das System umfasst Montagevorrichtungen für den Transport zur Säge und den Schnitt in einem bestimmten Winkel zur c-Achse. Es automatisiert die Abbildung der lokal...
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Beschaffung eines röntgenbasierten Kristallorientierungstools (1 Stück) zur präzisen Ausrichtung von AlN- oder GaN-Volumenkristallen vor dem Mehrdrahtsägen. Das System umfasst Montagevorrichtungen für den Transport zur Säge und den Schnitt in einem bestimmten Winkel zur c-Achse. Es automatisiert die Abbildung der lokalen c-Ebenen-Ausri...
Beschaffung eines röntgenbasierten Kristallorientierungstools (1 Stück) zur präzisen Ausrichtung von AlN- oder GaN-Volumenkristallen vor dem Mehrdrahtsägen. Das System umfasst Montagevorrichtungen für den Transport zur Säge und den Schnitt in einem bestimmten Winkel zur c-Achse. Es automatisiert die Abbildung der lokalen c-Ebenen-Ausrichtung relativ zur Waferoberfläche sowie die Halbwertsbreite von Rocking-Kurven. Option 1.9: Möglichkeit zum Kleben von mindestens 3 Kristallen gleichen Materials und gleicher Abmessungen auf denselben Sägeblock.
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
1 Stück Kristallorientierungstool (IISB.WP4.2) Das Gerät ist ein röntgenbasiertes Ausrichtungs- und Kristallmontagesystem zur präzisen Ausrichtung einzelner AlN- oder GaN-Volumenkristalle vor einem Mehrdrahtsägeprozess. Das System sollte Vorrichtungen zur geeigneten Montage der Kristalle umfassen, damit diese zur Mehrdrahtsäge transportiert und dort in einem bestimmten Winkel zur kristallographischen c-Achse geschnitten werden können. Die Systeme sollten außerdem in der Lage sein, die lokale Ausrichtung der c-Ebene relativ zur Oberfläche von polierten und geschliffenen Wafern sowie die Halbwertsbreite von Rocking-Kurven unter symmetrischen und asymmetrischen Messbedingungen automatisiert abzubilden. Optionen: 1.9: Kleben mehrerer Kristalle Mindestens 3 Kristalle aus dem gleichen Material (Material gemäß 1.1) und mit den in 1.2 beschriebenen Abmessungen können ausgerichtet und auf denselben Sägeblock geklebt werden.
Beschaffung von 1 Stück Kristallorientierungstool (IISB.WP4.2). Röntgenbasiertes Ausrichtungs- und Kristallmontagesystem für AlN- oder GaN-Volumenkristalle vor dem Mehrdrahtsägeprozess. Inklusive Vorrichtungen zur Montage und zum Winkelschnitt zur kristallographischen c-Achse. Funktionen: Automatisierte Abbildung der lokalen c-Ebenen-Ausrichtung, Messung der Halbwertsbreite von Rocking-Kurven (symmetrisch/asymmetrisch). Option: Kleben von mind. 3 Kristallen auf einen Sägeblock.
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