Beschaffung eines Inline-XPS/XRF-Spektrometers für den Reinraumeinsatz. Das UHV-System umfasst eine monochromatische Röntgenquelle, Sputter-Einheit, winkelaufgelöste XPS und Ladungskompensation zur Analyse von Dünnschichten/Multilayern auf 200-mm- und 300-mm-Siliziumwafern. Optionale Erweiterungen: 12 Monate Garantieve...
Typ:Ausschreibung
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Beschaffung eines Inline-XPS/XRF-Spektrometers für den Reinraumeinsatz. Das UHV-System umfasst eine monochromatische Röntgenquelle, Sputter-Einheit, winkelaufgelöste XPS und Ladungskompensation zur Analyse von Dünnschichten/Multilayern auf 200-mm- und 300-mm-Siliziumwafern. Optionale Erweiterungen: 12 Monate Garantieverlängerung, zusät...
Beschaffung eines Inline-XPS/XRF-Spektrometers für den Reinraumeinsatz. Das UHV-System umfasst eine monochromatische Röntgenquelle, Sputter-Einheit, winkelaufgelöste XPS und Ladungskompensation zur Analyse von Dünnschichten/Multilayern auf 200-mm- und 300-mm-Siliziumwafern. Optionale Erweiterungen: 12 Monate Garantieverlängerung, zusätzliche Röntgenquellen (CrKα, AgLα), Argon-Cluster-Ionenquelle, UPS (He I/II), SAM/SEM (< 2 µm Auflösung) sowie LEISS für oberflächensensitive Analysen.
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
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