Die DTU beschafft einen ICP-Reaktivionenätzer (RIE) für III-V-Materialien (GaAs, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAsP, InP), insbesondere zur Ätzung von GaAs-Mikrosäulen aus planaren Mikroresonatoren. Das Gerät dient als Kerninstrument für ein Forschungsprojekt zu optischen Bauelementen und als Open-Access-Anlage für Mikro-/Nanof...
Angebotsfrist:05. März 2026(abgelaufen)
Typ:Ausschreibung
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Die DTU beschafft einen ICP-Reaktivionenätzer (RIE) für III-V-Materialien (GaAs, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAsP, InP), insbesondere zur Ätzung von GaAs-Mikrosäulen aus planaren Mikroresonatoren. Das Gerät dient als Kerninstrument für ein Forschungsprojekt zu optischen Bauelementen und als Open-Access-Anlage für Mikro-/Nanofabrikation und Qu...
Die DTU beschafft einen ICP-Reaktivionenätzer (RIE) für III-V-Materialien (GaAs, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAsP, InP), insbesondere zur Ätzung von GaAs-Mikrosäulen aus planaren Mikroresonatoren. Das Gerät dient als Kerninstrument für ein Forschungsprojekt zu optischen Bauelementen und als Open-Access-Anlage für Mikro-/Nanofabrikation und Quantencomputer-Entwicklung. Lieferung bis spätestens Q3 2026. Gefordert ist ein State-of-the-Art-System für aktuelle und zukünftige Forschungsanforderungen.
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