Die Universität Twente (MESA+ Institut) schreibt die Beschaffung von zwei neuen Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Systemen aus. Ziel ist die Erweiterung der Kapazitäten für die Abscheidung von (dotierten) dielektrischen Dünnschichten bei moderaten Temperaturen. Gefordert ist die Abscheidung von SiO2, BS...
Angebotsfrist:30. April 2026
Typ:Ausschreibung
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Die Universität Twente (MESA+ Institut) schreibt die Beschaffung von zwei neuen Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Systemen aus. Ziel ist die Erweiterung der Kapazitäten für die Abscheidung von (dotierten) dielektrischen Dünnschichten bei moderaten Temperaturen. Gefordert ist die Abscheidung von SiO2, BSG, PSG, BPSG, spa...
Die Universität Twente (MESA+ Institut) schreibt die Beschaffung von zwei neuen Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Systemen aus. Ziel ist die Erweiterung der Kapazitäten für die Abscheidung von (dotierten) dielektrischen Dünnschichten bei moderaten Temperaturen. Gefordert ist die Abscheidung von SiO2, BSG, PSG, BPSG, spannungsarmem SiNx, SiOxNy sowie amorphem Silizium (aSi) zur Stärkung der Dünnschichttechnologie.
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