CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1) - PR884397-2480-P
1 CD-SEM Measurement System Anforderungen für die Top-Down-Messung kritischer Abmessungen von Linien/Zwischenräumen, Löchern/Spalten und anderen feinen Merkmalen, wie z. B. längliche Hile-/Säulenmuster, die während der Waferherstellung auf Halbleiterwafern gebildet werden, unter Verwendung eines CD-SEM mit hohem Durchs...
Typ:Ausschreibung
Ohne Kreditkarte · Sofortiger Zugang
Inhalt auf einen Blick
1 CD-SEM Measurement System Anforderungen für die Top-Down-Messung kritischer Abmessungen von Linien/Zwischenräumen, Löchern/Spalten und anderen feinen Merkmalen, wie z. B. längliche Hile-/Säulenmuster, die während der Waferherstellung auf Halbleiterwafern gebildet werden, unter Verwendung eines CD-SEM mit hohem Durchsatz. Das System w...
- Ausschreibungstyp: Ausschreibung
- Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht: 08. April 2026
- Frist: Nicht angegeben
Ausschreibungsbeschreibung
1 CD-SEM Measurement System Anforderungen für die Top-Down-Messung kritischer Abmessungen von Linien/Zwischenräumen, Löchern/Spalten und anderen feinen Merkmalen, wie z. B. längliche Hile-/Säulenmuster, die während der Waferherstellung auf Halbleiterwafern gebildet werden, unter Verwendung eines CD-SEM mit hohem Durchsatz. Das System wird für die Bearbeitung von MEMS-Wafern in einer CMOS-kompatiblen Clean-Room-Klasse 10 (ca. ISO 4) Produktionsumgebung eingesetzt. Optionale Leistungspositionen: 1.15 Allgemeine Anforderungen Das System ist mit einer unterbrechungsfreien Stromversorgung (USV) ausgestattet. Ja 3.3 Messsystem "Das rückführbare zertifizierte Normal ist Bestandteil der Lieferung. Die Kalibrierungen sind zum Zeitpunkt der Auslieferung nicht älter als 20% des empfohlenen Kalibrierintervalls. Hinweis: Ein rückführbares zertifiziertes Normal kann vom Lieferanten zur Verfügung gestellt werden. Ansonsten stellt das Fraunhofer IPMS ein VLSI-zertifiziertes Normal zur Verfügung." Ja 4.16 Prozess Das System ist in der Lage, 3D-Messungen mit einem geneigten Strahl durchzuführen. Ja 4.17 Prozess Das System kann rückgestreute Elektronen (BSE) erkennen und sichtbar machen. Es ist möglich, CD-Messungen an dem BSE-Bild durchzuführen. Ja 8.2 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte geben Sie ein Angebot für einen Satz von Verbrauchsmaterialien (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) ab. Ja 8.4 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte erstellen Sie ein separates Angebot für typische Ersatzteile wie Achsengeber, Laserinterferometer, etc. Ja 11.4 Verlängerte Gewährleistung Es sollte eine verlängerte Gewährleistung ab dem Datum angeboten werden, an dem die gesetzliche Gewährleistung abläuft. Eine erweiterte Gewährleistung von weiteren 12 Monaten sollte angeboten werden. Während der Gewährleistungszeit sollten alle Kosten für Support, Reparatur und Ersatzteile abgedeckt sein. 12 Monate
Weiterführende Details
Nach Registrierung stehen Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung strukturiert bereit.
- Kernanforderungen der Ausschreibung priorisiert aufbereitet
- Fristen, Eignungskriterien und Unterlagen in einem Ablauf
- Hinweise zur strukturierten Angebotsvorbereitung
- Passende Folgeausschreibungen automatisch entdecken
Dokumente und Anhänge
49 Dateien erfasst- PDF Notice (BUL)
- PDF Notice (SPA)
- PDF Notice (CES)
- PDF Notice (DAN)
- PDF Notice (DEU)
- PDF Notice (EST)
Ähnliche Ausschreibungen
3- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12Frist: 08. Mai
CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1)
Beschreibung: 1 CD-SEM Measurement System Anforderungen für die Top-Down-Messung kritischer Abmessungen von Linien/Zwischenräumen, Löchern/Spalten und anderen feinen Merkmalen, wie z. B. längliche Hile-/Säulenmuster, die während der Waferherstellung auf Halbleiterwafern gebildet werden, unter Verwendung eines CD-SEM mit hohem Durchsatz. Das System wird für die Bearbeitung von MEMS-Wafern in einer CMOS-kompatiblen Clean-Room-Klasse 10 (ca. ISO 4) Produktionsumgebung eingesetzt. Optionale Leistungspositionen: 1.15 Allgemeine Anforderungen Das System ist mit einer unterbrechungsfreien Stromversorgung (USV) ausgestattet. Ja 3.3 Messsystem "Das rückführbare zertifizierte Normal ist Bestandteil der Lieferung. Die Kalibrierungen sind zum Zeitpunkt der Auslieferung nicht älter als 20% des empfohlenen Kalibrierintervalls. Hinweis: Ein rückführbares zertifiziertes Normal kann vom Lieferanten zur Verfügung gestellt werden. Ansonsten stellt das Fraunhofer IPMS ein VLSI-zertifiziertes Normal zur Verfügung." Ja 4.16 Prozess Das System ist in der Lage, 3D-Messungen mit einem geneigten Strahl durchzuführen. Ja 4.17 Prozess Das System kann rückgestreute Elektronen (BSE) erkennen und sichtbar machen. Es ist möglich, CD-Messungen an dem BSE-Bild durchzuführen. Ja 8.2 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte geben Sie ein Angebot für einen Satz von Verbrauchsmaterialien (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) ab. Ja 8.4 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte erstellen Sie ein separates Angebot für typische Ersatzteile wie Achsengeber, Laserinterferometer, etc. Ja 11.4 Verlängerte Gewährleistung Es sollte eine verlängerte Gewährleistung ab dem Datum angeboten werden, an dem die gesetzliche Gewährleistung abläuft. Eine erweiterte Gewährleistung von weiteren 12 Monaten sollte angeboten werden. Während der Gewährleistungszeit sollten alle Kosten für Support, Reparatur und Ersatzteile abgedeckt sein. 12 Monate
- gematik GmbH
Implementierung Personalmanagementsystem (PMS)
Das Ziel der Beschaffung ist der Abschluss eines Vertrages über die Einführung und den Betrieb eines Personalmanagementsystems als Cloud-basierte Software-as-a-Service (SaaS)-Lösung sowie Unterstützungsleistungen für die Datenmigration aus dem bestehenden Personalmanagementsystem und - je nach Bedarf des Auftraggebers - die Erbringung von Beratungs- bzw. Entwicklungsleistungen. Mit dem avisierten Personalmanagementsystem soll die gematik in die Lage versetzt werden, mittels einer entsprechend geeigneten und hochqualitativen SaaS-Lösung Führungs-, Recruiting-, Personal-Admin- und Controlling-Aufgaben zu erfüllen. Zudem muss das Personalmanagementsystem intuitiv und benutzerfreundlich sein, da damit das Self-Service-Angebot für die Mitarbeitenden erweitert werden soll. Insgesamt wird mithin eine deutliche Ressourcenentlastung mit Blick auf Personalprozesse sowie der Ausbau einer transparenten Ressourcen- und Personalplanung in einer effizienteren und personalkostensparenden Organisation angestrebt. Des Weiteren erwartet die gematik ein Zusammenarbeitsverhältnis, das von hoher Kundenorientierung und Zuverlässigkeit auf beiden Seiten geprägt ist. Neben der Bereitstellung des Personalmanagementsystems benötigt die gematik daher vom Auftragnehmer sowohl einen adäquaten Kundensupport, als auch Beratungsleistungen zu neuen Funktionen sowie Unterstützung bei der Digitalisierung zukünftiger Personalmanagementprozesse. Der Auftragnehmer muss vor diesem Hintergrund mit personellen und technischen Ressourcen gewährleisten, dass er auch kurzfristig zur Erfüllung der Vertragsinhalte in der Lage ist. Die Beratungs- und Unterstützungsbedarfe werden anlassbezogen in Rücksprache zwischen Auftragnehmer und Auftraggeber geplant und umgesetzt. Der aktuelle Vertrag für das derzeit eingesetzte Personalmanagementsystem läuft prognostisch zum 30.06.2026 aus. Dahingehend wird ein nahtloser Übergang vom Bestandssystem auf ein neues Personalmanagementsystem angestrebt. Der Auftraggeber geht insofern davon aus, dass die notwendigen Migrationsleistungen innerhalb eines Zeitraums von maximal 6 Monaten ab Zuschlagserteilung abgeschlossen werden können. Verzögert sich die Zuschlagserteilung, kann das demnach dazu führen, dass der Zieltermin (01.06.2026, um einen Parallelbetrieb von einem Monat zu gewährleisten) entsprechend verschoben werden muss. Folglich hat der Auftragnehmer in der Systemintegrationsplanung ausreichend Zeit für die Unterstützung in der Migrations- und Testphase (Übernahme der Personalstammdaten sowie Dokumente) in Abstimmung mit dem Auftraggeber einzuplanen. Folgende Leistungen sind vom künftigen Auftragnehmer zu erbringen: 1. Initiale Leistungen (Setup) - Bereitstellung des Personalmanagementsystems gem. den Anforderungen des Auftraggebers: o Vorbereitung der Implementierung des Personalmanagementsystems: Konzeptions- und Planungsleistungen o initiale Einrichtung und Konfiguration der Lösung - Planung und Begleitung der Daten-Migration aus dem bestehenden Personalmanagementsystem - Unterstützung während der sog. "Go-Live-Phase" - Durchführung von Schulungen und Bereitstellung von Schulungsmaterialien (bspw. Videoerläuterungen) 2. Fortlaufende Leistungen (Software-as-a-Service, nachfolgend: "SaaS") - Betriebsleistungen: o Technischer Betrieb und Hosting der SaaS-Lösung o Allgemeine Technische Dokumentation - Wartung und Pflege des Personalmanagementsystems als SaaS o Monitoring, Fehleranalyse und deren Beseitigung innerhalb definierter SLA-Zeiten o Kundensupport 3. Sonstige Leistungen (Leistungen auf Abruf) - Beratungsleistungen (bspw. Beratung zur Implementierung der gematik Human Resources (HR)-Prozesse) - Sonstige Entwicklungsleistungen (bspw. Implementierung von Schnittstellen) 4. Leistungen bei Vertragsende - Erbringung von Leistungen, die erforderlich sind, um einen neuen Auftragnehmer oder den Auftraggeber in die Lage zu versetzen, die Leistungen zu übernehmen. 5. Leistungen im Rahmen des Projektmanagements - Der Auftragnehmer muss zudem über ein fortlaufendes Projekt- und Qualitätsmanagement verfügen, das insbesondere folgende Teilleistungen umfasst: - Teilnahme an Kick-Offs, Workshops, und sonstigen regelmäßigen Projektmeetings - Protokollführung - Vor- und Nachbereitung von und ähnliche unterstützende Leistungen im Rahmen von Projektmeetings nach Vorgaben des AG - NICHT Bestandteil der Leistungen des Auftragnehmers ist hingegen die technische Anbindung des ausgeschriebenen Personalmanagementsystems zu dem aktuellen Zeiterfassungstool. Weitere Details zur Leistung und die Anforderungen ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage-02 der Vergabeunterlagen), dem Anforderungskatalog (Anlage-09a) und dem EVB-IT-Cloud Kriterienkatalog (Anlage-11a der Vergabeunterlagen). Die Bewerber haben insbesondere den Anforderungskatalog und die darin enthaltenen MUSS-Anforderungen bereits im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs dahingehend zu prüfen, ob sie die Anforderungen einhalten können. Stellt sich bei einem Bewerber, der zur Angebotsabgabe aufgefordert wurde, im Rahmen der Angebotsprüfung heraus, dass er eine oder mehrere MUSS-Anforderungen nicht einhalten kann, ist sein Angebot zwingend vom Vergabeverfahren auszuschließen!
- Klinikum Chemnitz gGmbH; c/o Klinikum Chemnitz Logistik- und Wirtschaftsgesellschaft mbH
Lieferung/Bereitstellung eines cloudbasierten Softwaresystems zur Zeiterfassung (Zeitwirtschaft - ZWS) & Personaleinsatzplanung (PEP) für ärztlichen Dienst, pflegerischen Dienst & weitere Dienstarten
Gegenstand des Vergabeverfahrens ist die Bereitstellung einer cloudbasierten Softwarelösung (Software as a Service) zur Zeiterfassung (Zeitwirtschaft – ZWS) und Personaleinsatzplanung (PEP) für den ärztlichen Dienst (ca. 720 Mitarbeiter:innen), den pflegerischen Dienst (ca. 2.180 Mitarbei-ter:innen) und weitere Dienstarten (ca. 1.372 Mitarbeiter:innen – medizinisch-technischer Dienst, Funktionsdienst, Verwaltungsdienst, Personal der Ausbildungsstätten). Zusätzlich müssen auch ca. 500 interne sowie ca. 300 externe Schüler:innen im System geführt werden. Es wird ausdrücklich eine marktverfügbare Standardlösung ausgeschrieben, die durch Parametrierung auf die Bedarfe der Auftraggeberin anpassbar ist. Individuallösungen oder Eigenentwicklungen sind ausgeschlossen. Dies gilt insbesondere für die bidirektionale Schnittstelle zur bestehenden SAP ERP R/3 HCM-Infrastruktur sowie zur neuen SAP S/4HANA-Umgebung. Weitere Anforderungen an Implementierung, Parametrierung, Schulungen und Prozessstandardisierung sind Bestandteil der Vergabeunterlagen bzw. des Leistungsverzeichnisses. Die Software muss insbesondere folgende Aufgabenbereiche abdecken und ist in einer integrierten Gesamtlösung bereitzustellen: -Personaleinsatzplanung inkl. Urlaubs- und Abwesenheitsmanagement (PEP) -Zeitwirtschaft (ZWS) -Vorbereitende Lohnabrechnung durch Bildung tarifvertraglich relevanter Lohnarten in Stunden- oder €-Werten -Employee Self Service (ESS) -Manager Self Service (MSS) -Reporting und Statistiken Das Zusammenwirken dieser Aufgabenbereiche ist für eine effiziente und zeitgemäße Personaleinsatzplanung, -steuerung und -abrechnung unabdingbar. Aus diesem Grund müssen diese Aufgaben eng verknüpft sein und sollen sich aus technologischer Sicht und aus Nutzersicht als eine Einheit darstellen. Die Lösung muss problemlos in die im KC vorliegende IT Infrastruktur (SAP ERP R/3 HCM & SAP S/4HANA HCM & SAP IS-H/i.s.h.med) eingebunden werden können und zwingend über standardisierte Schnittstellen (aktueller Stand der Technik) mit den bereits genutzten Softwarelösungen kommunizieren. Über die Schnittstellen müssen sowohl Stammdaten, als auch An- und Abwesenheits- sowie Lohndaten uni- und bidirektional (je nach Datenart) fließen. Die Schnittstelle muss zwingend mit Änderungsdatensätzen arbeiten (zu ändernde Datensätze im SAP werden gelöscht und neu angelegt oder mit neuen Datensätzen überschrieben), um den höchsten Grad der Automatisierung zu gewährleisten und die Notwendigkeit manuellen Eingreifens bestmöglich zu minimieren. Zur Abbildung reibungsloser Prozesse muss die PEP Lösung einen konsistenten, sicheren und medienbruchfreien Datenaustausch sicherstellen. Gerade für die Abrechnung der Mitarbeiter ist dies unerlässlich und würde bei Ausbleiben den Betrieb des KC nachhaltig negativ beeinträchtigen. Eine möglichst automatisierte Übernahme erforderlicher Daten aus den Altsystemen muss sichergestellt werden. Die neue PEP-Lösung muss Daten aus dem IS-H/i.s.h.med importieren, in Personalbedarf wandeln und in die Einsatzplanung integrieren können. Mit Hilfe der PEP-Lösung müssen die aktuell am Klinikum Chemnitz für die korrekte Lohnabrechnung aller Dienstarten benötigten Lohnarten entsprechend der tariflichen Regelungen erzeugt und zeitgesteuert an das Lohn- und Gehaltssystem SAP HCM übergeben werden. Im ärztlichen Tarifvertrag müssen aktuell 39 unterschiedliche Lohnarten, im nichtärztlichen Tarifvertrag 32 Lohnarten abgebildet werden. Teilweise entstehen Lohnarten mitarbeiterindividuell und abhängig von unterschiedlichen Bedingungen wie Abteilung, Qualifikation des Mitarbeiters, individuelle Vereinbarung. Gerade bei Rufdiensten kommt es vor, dass innerhalb eines Bereichs Rufdienste nach einer festen Pauschale oder nach den tarifvertraglichen Regelungen vergütet werden. Die Softwarelösung muss in der Lage sein, diese Konstellationen auch untermonatig abzubilden (siehe hierzu auch Leistungsverzeichnis) Die Anbindung der Mitarbeiter an die neue PEP-Softwarelösung soll in vorher festgelegten Wellen erfolgen. Demnach muss sichergestellt sein, dass ein Teil der Mitarbeiter weiter am SAP PEP und andere Mitarbeiter an der neuen PEP-Lösung geführt werden. Der Auftragnehmer muss sicherstellen, dass für den Zeitraum der Implementierung und des Rollouts beide Systeme parallel produktiv funktionieren und sich nicht gegenseitig beeinflussen. Die in 2026 geplante S/4HANA-Migration des SAP ERP R/3 HCM (Unicode-Umstellung, Datenbankmigration und S/4-Anwendung) ist zwingend zu berücksichtigen. Dies betrifft sowohl das Projektmanagement, als auch die Funktion (bidirektionale Integration mit den Altsystemen HCM und ERP und dem Migrationsziel, keine PEP-Funktion Pflege nach S/4HANA-Migration im HCM). Zusätzlich ist eine Integration mit dem Parallelprojekt S/4HANA-Migration erforderlich. Die PEP-Lösung soll auf der aktuellen SAP HCM Version ECC 8 eingeführt werden. Beginnend 2026 soll der Umstieg des SAP ERP R/3 HCM auf SAP S/4HANA HCM erfolgen und damit auch die Migration der PEP-Software auf das neue System. Demnach wird vorausgesetzt, dass der Auftragnehmer die Schnittstellen seiner Softwarelösung bereits erfolgreich von SAP ECC auf S/4HANA migriert hat und alle geforderten Funktionen vollumfänglich auch in der Integration mit einem S/4HANA System (HCM und ERP) zur Verfügung stehen. Für die Beschaffung wird ein projektspezifischer EVB-IT-Cloudvertrag & -Dienstvertrag geschlossen. Der Vertragsentwurf ist Teil dieser Veröffentlichung sowie der Vergabeunterlagen zum Erstangebot und kann durch den Auftraggeber im Rahmen der Vergabeverhandlungen weiter konkretisiert werden. Die Beschaffung erfolgt für eine Mindestvertragslaufzeit von 36 Monaten nach Herstellung der Betriebsbereitschaft. Hiernach verlängert sich der Vertrag jeweils um ein Jahr, falls dieser nicht sechs Monate vor Vertragsende von einer Partei gekündigt wird. Einzelheiten hierzu ergeben sich auch aus den Vergabeunterlagen der späteren Angebotsphase bzw. Angebotsphasen.
Häufige Fragen zu dieser Ausschreibung
- Wie kann ich mich auf diese Ausschreibung bewerben?
- Erstellen Sie ein kostenloses Konto auf auftrag.ai. Danach sehen Sie alle Unterlagen, Fristen und Hinweise zur Einreichung in einem strukturierten Ablauf.
- Bis wann läuft die Angebotsfrist?
- Für diese Bekanntmachung ist aktuell keine konkrete Angebotsfrist angegeben.
- Wer ist der Auftraggeber?
- Der Auftraggeber ist Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12.
- Welche Unterlagen sind für den Start relevant?
- In der Regel benötigen Sie Leistungsbeschreibung, Eignungsnachweise, Fristenhinweise und ggf. Formblätter. Auf auftrag.ai werden diese Punkte priorisiert dargestellt.