Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine radiofrequenzbetriebene (RF) Ionenquelle für den Einsatz im Vakuum mit Gitterdurchmesser von ca. 10 cm zur Nachrüstung einer vorhandenen Ionenstrahl-Sputteranlage (IBS-Anlage, Eigenbau LZH) gesucht. Die Ionenquelle soll als zusätzliche Stützquelle in den bestehenden Prozess inte...
Angebotsfrist:20. Februar 2026(abgelaufen)
Typ:Ausschreibung
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Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine radiofrequenzbetriebene (RF) Ionenquelle für den Einsatz im Vakuum mit Gitterdurchmesser von ca. 10 cm zur Nachrüstung einer vorhandenen Ionenstrahl-Sputteranlage (IBS-Anlage, Eigenbau LZH) gesucht. Die Ionenquelle soll als zusätzliche Stützquelle in den bestehenden Prozess integriert werden und...
Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine radiofrequenzbetriebene (RF) Ionenquelle für den Einsatz im Vakuum mit Gitterdurchmesser von ca. 10 cm zur Nachrüstung einer vorhandenen Ionenstrahl-Sputteranlage (IBS-Anlage, Eigenbau LZH) gesucht. Die Ionenquelle soll als zusätzliche Stützquelle in den bestehenden Prozess integriert werden und ist mit einem gekrümmten 3-Gitter-Extraktionssystem auszuführen. Ziel ist die gezielte Beeinflussung der Schichteigenschaften durch ionenunterstützte Prozesse wäh
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