300 MM WAFER PLATFORM WITH SINGLE WAFER CHAMBERS CVD SI/POLY+ RTO/RTA
Beschaffung einer 300-mm-Wafer-Plattform mit Single-Wafer-Kammern für CVD-Prozesse (Si/Poly) sowie RTO/RTA-Funktionalitäten (Rapid Thermal Oxidation/Annealing).
Angebotsfrist:13. April 2026
Typ:Ausschreibung